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半導(dǎo)體硅基高溫?cái)U(kuò)散爐
高溫?cái)U(kuò)散爐管是為了滿足TOPcon、HJT等N型雙面大尺寸高效電池、12寸以上芯片制程中,硅片、硅晶圓的高質(zhì)量承裝載體所研制的半導(dǎo)體制備核心新產(chǎn)品。公司研制完成了大直徑深孔套孔專機(jī)、深孔磨削專機(jī)兩項(xiàng)新產(chǎn)品,完成了薄壁深孔硅產(chǎn)品加工工藝研究,具備生產(chǎn)直徑<φ430mm,長(zhǎng)度<1500mm,壁厚10mm的高溫?cái)U(kuò)散爐管加工能力,高溫?cái)U(kuò)散爐管(薄壁圓筒狀)外形完整、無(wú)裂紋、無(wú)邊角崩邊,內(nèi)徑直徑尺寸精度達(dá)到士0.1mm,內(nèi)徑與外徑同軸度0.1mm,規(guī)格尺寸可根據(jù)用戶要求訂制生產(chǎn)。
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